第78章 ……
本来就热闹的除夕饭因为这么个大消息爆出来, 那就更热闹了,一顿饭到后来也就俩孩子还有心思吃了,其他人更关注的何盛华他们厂子的事情。
这个年过得十分快乐, 但很短暂, 才到初二, 何景韩教授他们便又去上班了。
新年开始, 齐老便召集所有人召开了个会议。
“扫描光刻机进展十分缓慢,光源是个很大的问题, 我想问一下,你们有没有什么想法,大胆地说。”首位上,齐老面色凝重地看着在场的那些人。
坐在会议室椅子上的人闻言都沉思了起来, 一副凝神思考的样子,并没有人出来发表自己的看法。
何景也在沉思着,适合步进式扫描光刻机的光源又不少, 但想要做出更好更精密的芯片, 那种光源可不是那么好找的,再说了, 即使确定类型了, 能不能掌握这种光源那也是个问题。
就在沉默中,终于有人开口, “现有光刻机使用的光源有激光、紫外光、深紫外光,最近国外还提出了一种类型的光源, 便是极紫外光。只是这种光源还处于研究之中,并不是我们能掌握的。”
随着他开口,立马又有不少人开口了。
“是啊,所长, 极紫外光波长足够短,按照原理,具有极好的成像效果,且能缩小芯片,但我们并没有办法掌握这个光源。”
“我也查过不少资料了,国外也才开始研究,需要花费很长时间,也不一定会有结果。”
“不然还是还是在深紫外光领域进行深挖吧?”
“估计不行,根据发展定律,这种光源能挖掘的潜力有限。”
“还只能从极紫外光着手了啊!”
“那肯定是啊,就是我们花国光学发展还不行吧!”
“唉,估计很难!”
“我们这也有专业的光学研究员的吧?”
“是啊,不然漫漫开始研究?”
众人十分激烈地讨论了起来,会议室一下子变得十分热闹。
何景没有说话,这些人都说得很对,眼下想要在光刻机方面有突破的话,那就需要掌握极紫外光这种光源,可现在的技术也是个问题,毕竟花国科学发展时间有限,很多方面不能和国外相比。
要知道即使在三十年之后,能掌握这种高端光源的国家也是屈指可数的,更何况是现在呢。
齐老听着他们争吵,目光不由得落在了何景身上。他咳嗽了几下,在场众人立马就安静了下来,所有人都看向了齐老。
齐老则是看着何景,“何教授,你是个什么想法?”
何景并没有惊讶,他这个师伯就是喜欢拉着他出来说话,便开口道:“大家都说得十分对,眼下想要突破的话的确是要研究极紫外光光源,所以极紫外光是必须要研究的。不过我们这边实力有限,所以最好还是寻求其他方面的帮助,Q大那边有个光学研究小组,听说他们在研究的就是各种光源,如果可以的话,我们能够寻求他们的帮助。”
何景记得在若干年之后,Q大光学研究所也研究出了极紫外光光源,这是很大的突破。
当然那个项目是在很久以后才开始的,所以一直到二十多年之后才成功,如果这一世能早一些开始的话,说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间,齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究,所以不能太着急。
齐老闻言思考了起来,“你说的那个小组能力怎么样?你觉得他们大概需要多久能有突破?”
何景笑了下,无奈摇头,“这我就不知道了,毕竟我和那边也没有多少了解,只是大概知道有这个研究小组,我们可以先接触接触,或者在全球范围内找一找,大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家,过来这边研究。”
两种方式各有优劣,弄到研究所这边来的话,他们就比较有主导权,也能更方便进行实验,但自己管理的话,需要操心的东西就会多不少,还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来,还需要研究那么长时间,也不一定那些人会愿意。
齐老点点头,并没有立马发表自己的看法,反而是看向了其他人。
“你们怎么看?”
“合作吧,专业的活还是要找专业的人干。”
“是啊,可以多放联系一下,如果有人正好在研究这个的话,那就好了。”
“嗯,还是要好好挑选下合作对象,毕竟实力还是十分重要的。”
“.....”
大部分人都倾向于合作,这样他们也能轻松不少。
齐老想了下,最终还是拍板合作这个方式了,“行,那就寻求外部合作吧,卢副,你尽快调查下合适的光学研究单位,看看那个单位对这个项目感兴趣。”
卢副所长立马点头答应,“好,我会尽快去办的。”
齐老满意点头,之后又看向其他人,“行吧,那我们继续说下面的问题。”
“何景,这次曝光的方式是怎么进行的?”
这个就是何景知道的了,赶忙道:“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式,掩模板对着晶元同步进行扫描。”
“投影倍镜的倍率最好蛇追在4:1......”
“掩模台需要保持高速、高精确地同步运动.....”
何景解说非常详细,这是他比较了解的部分,所有人都专心地听着。
齐老面上露出十分满意的笑容,等何景说完他立马带头鼓起了掌,“不错,你这些日子没有白忙啊,你们尽快将东西制作出现,之后进行具体实验。虽然光源是个问题,但我们也能用其他光源做实验不是,不能白耽误时间了。”
“明白。”众人纷纷点头答应。
齐老又看向其他人,开始问起其他的问题。
一场会议足足持续了一天,几乎到晚上九十年才结束,光刻机是个很大的项目,涉及到的问他十分多,所以花费的时间也多。没办法,这也是很正常的,毕竟一切才刚开始,所有人面临的问题都很多。
结束完会议,何景活动下筋骨,让身体放松下,跟在齐老后面往他后面走,不是何景还不想回去休息,只是齐老一结束会议就让何景去他办公室。
也挺累了,齐老也没有客气给何景倒水什么的,招呼人坐下之后便开始说起了话。
“齐老,怎么了?这么严肃?”看见他严肃的样子,何景有些好笑的问。
齐老面容严肃,“有件很重要的事情,M国有个十分大型的半导体研讨会,我们花国这边也收到了邀请,我便是受邀人员之一。”
“研讨会?谁组织的?”一听说有研讨会,何景就十分好奇了。
齐老叹了口气,“名义上是有什么半导体研究委员会组织的,但其实便是几个大集团公司组织的。”